每日經(jīng)濟(jì)新聞 2023-09-15 17:20:07
每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問(wèn)：公司生產(chǎn)的光刻膠是否可以用于納米壓印，是否具備相關(guān)技術(shù)儲(chǔ)備？
南大光電（300346.SZ）9月15日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，公司正在研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的ArF光刻膠，主要用于28nm-90nm技術(shù)工藝的集成電路芯片制造。
(記者 畢陸名)
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南大光電：現(xiàn)階段，公司ArF光刻膠的產(chǎn)品驗(yàn)證主要集中在90nm~28nm制程工藝
炬光科技：公司的光場(chǎng)勻化器產(chǎn)品供應(yīng)給國(guó)內(nèi)主要光刻機(jī)制造商，產(chǎn)品已應(yīng)用于國(guó)內(nèi)主要光刻機(jī)研發(fā)項(xiàng)目和樣機(jī)中
南大光電：公司產(chǎn)品主要有MO源、前驅(qū)體材料、電子特和ArF光刻膠及配套材料等
南大光電：目前通過(guò)客戶驗(yàn)證的ArF光刻膠主要應(yīng)用于存儲(chǔ)芯片50nm和邏輯芯片55nm生產(chǎn)工藝
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