每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問(wèn)：日本對(duì)euv掩膜版設(shè)備進(jìn)行了限制，MueTec的掩膜版檢測(cè)設(shè)備能否進(jìn)行國(guó)產(chǎn)替代？

天準(zhǔn)科技（688003.SH）5月29日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，Muetec的掩膜檢測(cè)設(shè)備已經(jīng)可以覆蓋65-90nm工藝，目前尚未達(dá)到EUV掩膜檢測(cè)設(shè)備的精度。

(記者 賈運(yùn)可)

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